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ガス除害装置

半導体製造装置関連の除害装置の設計・製造・設置（配管工事含む）

半導体・液晶・ソーラー用の材料ガスを無害化処理する除害装置を提供致します。
太陽電池関連の工場等にも納入実績があります。

＞特殊材料ガス　AsH3, PH3, SiH4などの除害装置
＞その他ガス　H2S, DEZ等の除害装置

除害剤の交換及び廃棄処理

工場で使用されている使用済み除害剤の交換や廃棄処理を行っています。
他社除害装置の除害剤交換も出来ます。お気軽にご相談下さい。
乾式除害装置

排ガス除害剤


アルファクリーン　ラインナップ
アルファクリーン 主な適用ガス種類 適用検知剤
α-10シリーズ 金属水素化物系ガス（AsH3 PH3 TBP TBA 他）※ αD-10
α-20シリーズ ハロゲン化物系ガス（HBr Cl2 HCl HF 他）※ αD-20
α-30シリーズ NH3・アミン類 他 ※ αD-30
α-40シリーズ NOx 分解他 ※ αD-40
α-50シリーズ O3 分解 他 ※ αD-50
α-60シリーズ SiH4 Si2H6 他 ※ αD-60
α-70シリーズ CO 他 ※ αD-70
α-80シリーズ フロン系ガス（CF4）他 ※ αD-80
2018年3月 現在 ※：上記は対応ガスの一部です。上記に記載のないものの詳細はお問い合わせ下さい。
※：有機金属系の各種除害剤新規開発にも対応します。

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